Người phát minh ra màn hình cảm ứng dùng ngón tay là ông E.A. Johnson vào năm 1965. Lúc ấy ông làm cho Royal Radar Establishment tại thành phố Malvern, Anh. Ông Johnson diễn tả phát minh của mình trong bài báo: “Touch Display – A Novel Input/Output Device for Computers” đăng trên Electronics Letters.
Bài báo có một sơ đồ mô tả kỹ thuật màn hình cảm ứng mà nhiều điện thoại di động ngày nay dùng. Bây giờ người ta gọi kỹ thuật đó là kỹ thuật màn hình cảm ứng điện dung. Hai năm sau ông Johnson giải thích chi tiết hơn về kỹ thuật này bằng hình ảnh và sơ đồ trong bài: “Touch Displays: A Programmed Man-Machine Interface” đăng trên Ergonomics.
Tiến Sĩ G. Samuel Hurst phát minh màn hình cảm ứng điện trở vào năm 1970. Sáng chế của ông xảy ra một cách tình cờ khi ông làm việc trong phòng thí nghiệm nghiên cứu về vật lý nguyên tử tại Đại Học Kentucky.
Tuy là màn hình cảm ứng điện dung được phát minh trước nhưng công nghệ màn hình cảm ứng điện trở đã nhanh chóng trở thành thông dụng vì bền và giá thành rẻ. Bây giờ thì công nghệ màn hình cảm ứng điện dung lại là số 1.
Vào đầu thập niên 1980 màn hình cảm ứng bắt đầu được dùng nhiều. Công ty Hewlett-Packard lăng xê máy tính có màn hình cảm ứng đầu tiên, HP-150, vào năm 1983.
Một thiết bị đa điểm (multi touch) được phát minh vào năm 1982 tại Đại Học Toronto. Phương pháp lúc đầu là dùng máy quay phim hợp với máy tính để nhận biết những động tác của các ngón tay.
Theo arstechnica.com, màn hình cảm ứng đa điểm đầu tiên được ông Bob Boie sáng tạo tại Bell Labs vào năm 1984. Sự phát minh này mở đường cho công nghệ màn hình cảm ứng đa điểm mà chúng ta hiện đang dùng trên máy điện thoại di động và máy tính bảng.
Năm 1993, IBM hợp tác với BellSouth, một công ty điện thoại, để sản xuất Simon Personal Communicator, một trong những điện thoại di động đầu tiên dùng kỹ thuật màn hình cảm ứng. Cùng năm đó Apple tung ra thị trường Newton PDA (Personal Digital Assistant) cũng dùng màn hình cảm ứng.
Có nhiều phát triển về công nghệ màn hình cảm ứng trong thập niên 2000, nhưng phải đến cuối thập niên thì mới phổ thông trong quần chúng. Theo statista.com, năm 2012 có 1.3 tỷ màn hình cảm ứng được sản xuất trên thế giới, tới năm 2016 thì họ tiên đoán là có tới 2.8 tỷ.